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Accueil > Plateformes techniques > Pétrophysique > Service EBSD

CamScan CrystalProbe X500FE

Le Camscan Crystal Probe X500FE est un microscope électronique à balayage à canon à émission de champ. Il a été installé en février 2008 au sein de la Plateforme de Microscopie Électronique et Analytique MEA de l’Université de Montpellier. Il a été financé par l’INSU-CNRS, le ministère de l’Éducation et de la Recherche et la région Langeudoc-Roussillon. Il fait partie des instruments nationaux INSU dans le cadre de la Plateforme d’Expérimentation, Synthèse et Analyses Nanométriques.

Ce MEB a été développé dès sa conception pour l’analyse EBSD. Il a ainsi la particularité d’avoir sa colonne électronique inclinée à 70°, ce qui permet de garder l’échantillon horizontal lors des analyses. Il est équipé d’un détecteur EBSD HKL NordlysNano pour l’analyse cristallographique et d’un détecteur EDS X-MaxN 20mm² pour l’analyse chimique, les deux étant pilotés par le logiciel AZtecHKL. Il offre la possibilité de travailler en mode "vide contrôlée" pour analyser les échantillons peu conducteurs. Les analyses peuvent être effectuées avec une résolution de l’ordre de quelques dizaines de nanomètres.